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技術(shù)參數(shù)
1.線性精度: U1=3+L/200um 。
2.重複精度: 3um。
3.外觀尺寸: 670 x660 x950 mm。
4.測量景深:150mm/30mm.
5.機(jī)臺(tái)定位精度:±0.002mm.
6.量測行程: 200*100*300mm (X,Y)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
本機(jī)采用高精度光柵尺。高速非接觸操作,可證
零摩擦和零機(jī)器磨損,開放式光學(xué)設(shè)計(jì)保證了高性能,
周期誤差通常上于±0.25um,線性誤差特性為每
60mm±1um.
訂購熱線:13922534049 謝經(jīng)理